電鏡潔凈實驗室環(huán)境建設要點  CEIDI西遞

電鏡要求的潔凈等級至少應達到萬級，室內(nèi)噪音小于60分貝。使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機，特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制，避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高，對震動和磁場強度的要求也較高，所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。電鏡實驗室內(nèi)部配套系統(tǒng)建設環(huán)節(jié)，因為它不似化學實驗室等，不需要重點放在有害氣體的排放、新風的設置、污染水的排放等方面。對于電鏡實驗室CEIDI西遞更注重恒溫恒濕、電氣系統(tǒng)等環(huán)節(jié)。

電鏡實驗室配套系統(tǒng)環(huán)境建設要點：

恒溫恒濕：溫度20℃，相對濕度7%以下。

震動要求：2Hz以下 小于1um2-9Hz 小于2um10Hz以上 小于3um 。

冷卻循環(huán)水要求：水溫20℃±5℃，誰呀2-5公斤/㎝，流量3-5升/分，PH中性不含雜質(zhì)的正劉書或無離子水。

噪音：至少小于60分貝。

電氣：配輸出功率大于電鏡輸入功率3~5KVA的單獨交流穩(wěn)壓器和一個穩(wěn)頻器，使市電經(jīng)穩(wěn)壓穩(wěn)頻后再輸入電鏡儀器。很多進口電鏡規(guī)定接地電阻小于100Ω，單最好小于5~10Ω。電鏡的保護地線要設專用。電源開關應設置在緊急情況（地震火災等）下能立即斷電的位置。在電鏡或其他精密儀器附近還要設置能階段火線和中線二者的熔化絕緣開關。

照明：實驗室選用日光燈和白熾燈，光線柔和即可。為了便于維修和清潔，掃描電鏡間的照度應能>500勒克斯(Lux,簡稱lx)。為減輕操作電鏡時工作人員眼睛的疲勞，并能看淸和便于調(diào)節(jié)的襯度，掃描電鏡正常工作時的照度最好控制在50?150勒克斯。

目前，像電鏡實驗室這類擁有國際上頂尖且高額儀器設備的實驗室越來越多，在建設實驗室的過程中，會有越來越精確的技術指標在不斷的工程實踐中校正。像CEIDI西遞這類專注于實驗室、潔凈室工程的集成服務商，擁有大量的工程實踐經(jīng)驗基礎，并以此為設計模型便于企業(yè)內(nèi)部總結(jié)經(jīng)驗，該經(jīng)驗會愈加規(guī)范和科學地應用于之后的各潔凈項目中。

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