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電鏡潔凈實驗室環(huán)境建設(shè)要點 CEIDI西遞
電鏡要求的潔凈等級至少應(yīng)達到萬級,室內(nèi)噪音小于60分貝。使用環(huán)境條件主要涉及溫度、濕度、震動、磁場強度、接地等幾個因素。溫濕度控制需配備空調(diào)和除濕機,特別是在南方地區(qū)一定要保證對濕度的控制,避免溫濕度對電鏡電子部件的影響。由于場發(fā)射掃描電子顯微鏡的分辨率較高,對震動和磁場強度的要求也較高,所以需盡量避免震動和雜散磁場的干擾。電鏡實驗室內(nèi)部配套系統(tǒng)建設(shè)環(huán)節(jié),因為它不似化學(xué)實驗室等,不需要重點放在有害氣體的排放、新風(fēng)的設(shè)置、污染水的排放等方面。對于電鏡實驗室CEIDI西遞更注重恒溫恒濕、電氣系統(tǒng)等環(huán)節(jié)。
電鏡實驗室配套系統(tǒng)環(huán)境建設(shè)要點:
恒溫恒濕:溫度20℃,相對濕度7%以下。
震動要求:2Hz以下 小于1um2-9Hz 小于2um10Hz以上 小于3um 。
冷卻循環(huán)水要求:水溫20℃±5℃,誰呀2-5公斤/㎝,流量3-5升/分,PH中性不含雜質(zhì)的正劉書或無離子水。
噪音:至少小于60分貝。
電氣:配輸出功率大于電鏡輸入功率3~5KVA的單獨交流穩(wěn)壓器和一個穩(wěn)頻器,使市電經(jīng)穩(wěn)壓穩(wěn)頻后再輸入電鏡儀器。很多進口電鏡規(guī)定接地電阻小于100Ω,單最好小于5~10Ω。電鏡的保護地線要設(shè)專用。電源開關(guān)應(yīng)設(shè)置在緊急情況(地震火災(zāi)等)下能立即斷電的位置。在電鏡或其他精密儀器附近還要設(shè)置能階段火線和中線二者的熔化絕緣開關(guān)。
照明:實驗室選用日光燈和白熾燈,光線柔和即可。為了便于維修和清潔,掃描電鏡間的照度應(yīng)能>500勒克斯(Lux,簡稱lx)。為減輕操作電鏡時工作人員眼睛的疲勞,并能看淸和便于調(diào)節(jié)的襯度,掃描電鏡正常工作時的照度最好控制在50?150勒克斯。
目前,像電鏡實驗室這類擁有國際上頂尖且高額儀器設(shè)備的實驗室越來越多,在建設(shè)實驗室的過程中,會有越來越精確的技術(shù)指標在不斷的工程實踐中校正。像CEIDI西遞這類專注于實驗室、潔凈室工程的集成服務(wù)商,擁有大量的工程實踐經(jīng)驗基礎(chǔ),并以此為設(shè)計模型便于企業(yè)內(nèi)部總結(jié)經(jīng)驗,該經(jīng)驗會愈加規(guī)范和科學(xué)地應(yīng)用于之后的各潔凈項目中。
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